您好!欢迎访问青岛旭恒洁净技术有限公司网站!
咨询热线

86-0532-81109293

当前位置:首页 > 技术文章 > 净化车间为要控制温湿度的主要目的是什么

净化车间为要控制温湿度的主要目的是什么

发布时间:2019-07-08      点击次数:1400
      为检查净化车间工作正常所进行的各项测试中,其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染,从而防止污染在室内的积累,室内必须有充分的气流流动。所以对气流必须进行检测。
  在紊流洁净室中,风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚,无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。在单向流净化车间中,为保证关键区域达到洁净的水平,其送风直接来自过滤器。
  净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,首先应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
扫一扫,关注微信
地址:青岛 传真:86-0532-81109293
©2022 青岛旭恒洁净技术有限公司 版权所有 All Rights Reserved.  备案号:鲁ICP备2021034369号-1