净化车间，也可以称为净化车间或清净室。它是污染控制的基础。没有净化车间，污染敏感零件不可能批量生产。那么净化车间是由哪几部分组呢？
净化车间共有五部分组成：
1、隔间
净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。
2、风系统风系统流程图
系统采用的是全新风空调箱+FFU系统：
全新风空调箱结构
FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器
千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。
3、水系统水系统流程图
冰水系统分为一次侧和二次侧.
一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.
板式换热器原理
干盘管:不结露的盘管,因净化车间温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入净化车间,所以进干盘管的冰水温度在12-14度.
4、控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制
湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
5、其他系统
不只是空调系统,净化车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,
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